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吸附作用分為物理吸附和化學吸附兩種。物理吸附主要是由范德華引力而引起的，因此選擇性差。越易液化的氣體越容易被吸附，物理吸附過程與氣體的液化相似，吸附熱在數值上也與冷凝熱相近，可以看作氣體在吸附劑表面的凝聚。物理吸附可以很方便地脫附，通過改變操作的壓力或者溫度，從而將被吸附的物質脫附下來。化學吸附是指被吸附的物質在吸附劑表面形成化學鍵，吸附作用選擇性強，吸附熱與化學反應熱相當，但是脫附困難。在廢氣處理工藝中，人們主要利用物理吸附作用。
廢氣經阻火器和氣流分布器進入吸附床，廢氣中的有機成分被吸附劑吸附，尾氣經風機高空排放。當吸附劑接近飽和后，通入水蒸氣或其他熱源氣脫附，由于吸附劑的富集作用，脫附氣中有機物含量比處理前廢氣中有機物的濃度大幅度提高，因此具有一定的回收價值。脫附氣可經過冷凝器冷凝后進入分層罐，如果有機物不溶于水，如甲苯等則冋收油層；若溶于水，如乙醇等則去溶媒回收塔進一步回收處理。脫附氣也可以經過催化燃燒床（鈀或者鉑催化)燃燒生成無毒的廢氣排放，燃燒過程產生的熱量加熱解吸用熱空氣。目前，常用的活性炭和碳纖維吸附劑對常見的制藥行業有機溶媒的吸附容量在100~400g/kg，吸附容量比較大，如果設計合理，吸附后尾氣中有機物的含量可以控制在100mg/m3以下，可以實現達標排放。